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제품소개 (주)이든웍스

케미컬 필터 자동 퍼징 시스템 Chemical Filter Auto Purging System

본문

Chemical Filter Auto Purging System은 반도체 및 화학 공정에서 사용되는 케미컬 필터 교체 시 필터 내부에 남아 있는 화학 물질을 자동으로 제거하여 작업자의 안전과 공정 안정성을 높이는 시스템.

이 시스템은 DIW(초순수)와 N₂(질소)를 이용하여 필터 내부의 잔류 케미컬을 자동으로 세척(Purging)하고 배출하여 화학물질 노출 위험을 최소화하고 안전한 유지보수 작업 환경을 제공합니다.

  • 주요 기능

  • 필터 내부 잔류 화학물질 자동 제거
    작업자 안전 향상
    자동/수동 운전 지원

  • 시스템 구성

  • Touch Panel 기반 Controller 및 운영 소프트웨어
    DIW Purging System
    N₂ Purging System
    PH Meter 및 Conductivity Sensor
    Purging Valve 및 배관 시스템

  • 동작 원리

  • 시스템의 동작 과정은 다음과 같습니다.

    1. DIW(초순수)로 일정 시간 동안 필터 내부 세척
    2. Drain에서 PH 측정을 통해 잔류 화학물질 여부 확인
    3. PH 값이 중성(7)에 도달하면 DIW 세척 종료
    4. 이후 N₂ Purging을 수행하여 필터 내부를 완전히 건조

  • 적용 분야

  • 반도체 공정 Chemical 공급 시스템
    Wet Process 설비
    화학 공정 라인
    고순도 Chemical 공급 장치

  • 기대 효과

  • 작업자의 화학물질 노출 위험 감소
    필터 교체 작업의 안전성 향상
    공정 안정성 및 유지보수 효율 향상
    반도체 공정 환경 및 안전 규정 준수

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